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臺(tái)式掃描電鏡具有*的機(jī)動(dòng)性

 更新時(shí)間:2018-11-12 點(diǎn)擊量:1574
   臺(tái)式掃描電鏡具有*的機(jī)動(dòng)性 
   臺(tái)式掃描電鏡是針對(duì)臺(tái)式電鏡設(shè)計(jì)的,本著臺(tái)式電鏡簡(jiǎn)單易用,系統(tǒng)*嵌入在電鏡主機(jī)中,利用半導(dǎo)體制冷,無(wú)需額外冷卻系統(tǒng),采用低真空技術(shù),出射電子與空氣分子碰撞產(chǎn)生正離子,正離子與樣品表面累積的 電子中和,有效抑制荷電效應(yīng)的產(chǎn)生,直接觀測(cè)各種不導(dǎo)電樣品。 
   臺(tái)式掃描電鏡利用降低荷電效應(yīng)樣品杯,更可將開(kāi)始荷電的放大倍數(shù)提高8倍左右,而且不會(huì)影響燈絲壽命,環(huán)境適應(yīng)性高,*防震,可以放置在幾乎所有的室內(nèi)環(huán)境當(dāng)中,無(wú)需超凈間,采用燈絲、探測(cè)器、樣品 臺(tái)相對(duì)一體化的設(shè)計(jì),震動(dòng)不會(huì)引起三者間的相對(duì)運(yùn)動(dòng),使成像不受震動(dòng)影響,可放置在較高樓層。臺(tái)式掃描電鏡由三大部分組成:真空系統(tǒng),電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng),以下提到掃描電子顯微鏡之處,均用SEM代替。 臺(tái)式掃描電鏡是一種大型精密儀器,它是機(jī)械學(xué)、光學(xué)、電子學(xué)、熱學(xué)、材料學(xué)、真空技術(shù)等多門(mén)學(xué)科的綜合應(yīng)用。
   臺(tái)式掃描電鏡真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分,真空柱是一個(gè)密封的柱形容器,真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類(lèi),機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置真空要 求,則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。臺(tái)式掃描電鏡成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中,真空柱底端即為密封室,用于放置樣品。之所以要用真空,主要基于以下兩點(diǎn)原因:臺(tái)式掃描電鏡電子束系統(tǒng)中的燈絲 在普通大氣中會(huì)迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM時(shí)需要用真空以外,平時(shí)還需要以純氮?dú)饣蚨栊詺怏w充滿整個(gè)真空柱。為了增大電子的平均自由程,從而使得用于成像的電子更多。
 

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